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"一种多元组合薄膜的制备方法" , ZL201310413316.9 "一种弹性探针阵列多通道电阻测量方法和装置" , ZL201310422062.7 "一种组合薄膜的制备方法" , ZL201310413317.3 "基于组合薄膜的宽温区可调谐微波器件" , ZL201410026262.5 "组合薄膜制备装置和方法" , ZL201410128987.5 "包括多自由度转动样品台的测量杆" , ZL201510303162.7 "可编码执行器及其控制方法和微机器人" , ZL201510431944.9 "一种支架定位装置" , ZL201510524841.7 "用于电输运测量的电连接装置" , ZL201510408312.0 "组合薄膜制备及原位表征系统" , ZL201510446068.7 "一种薄膜沉积系统及控制方法" , ZL201510524841.7 "探针式快速输运测量系统" , ZL201520127897.4 "粉末压片模具" , ZL201520205972.4 "层状交错电容的制备方法和层状交错电容" , ZL201410425900.0
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