Laser-MBE系统属于最新一代（第三代）高通量组合薄膜制备系统。利用高能脉冲激光，将靶材成分溅射到基片处进行外延生长。在生长过程中利用可移动的掩膜板，能够在一片基片上生长出连续梯度组分薄膜，大大提高了薄膜生长效率，更有利于新材料的探索与物性研究。

具体原理如下图：利用可移动的掩膜板使成分1在基片表面形成数量梯度分布，然后反方向移动掩膜板使成分2形成反方向的数量梯度分布，然后让这两种成分在一个原胞的尺度内混合，即形成梯度组分薄膜。