PLD 脉冲激光沉积设备
主要有脉冲激光器、光学透镜、沉积系统等组成。工作原理是：利用高能脉冲激光作为光源，经过反射镜、聚焦镜使激光聚焦在多晶靶材上，在靶材的光斑处温度迅速升高至烧蚀，以原子、分子和离子等形式垂直靶材射出，沉积在单晶衬底上，形成薄膜。